學習新視界 2024-09-19

陳志欣李揚漢共同研發半導體製程即時監測系統 淡江首獲國科會科研創業計畫540萬補助

【舒宜萍淡水校園報導】化學系系主任陳志欣研發成果豐碩,繼取得2020國科會未來科技獎、多項中華民國發明專利及2023台灣創新技術發明競賽金牌獎後,今年8月以「半導體製程氣態分子汙染物之即時監測系統」,獲國科會113年度第2梯次科研創業計畫,共新臺幣540萬元補助,為本校申請此計畫補助通過之第一案。團隊研發出一種針對半導體製程的即時監測系統,提供靈活且經濟的解決方案,另邀請電機系教授李揚漢為共同主持人,預計明年成立新創公司,以新型微量氣體檢測技術打開新市場,為半導體業界提供最新問題解決方案。

陳志欣說明,該項計畫目標是在精密的半導體製程中,針對可能存在的氣態分子汙染物,透過獨家紙基感測技術與多維度色彩分析,能即時且精確檢測出氣態分子的濃度,可事先做出預防措施,以提升半導體製程的良率與企業獲利。陳志欣指出,半導體業為臺灣重要發展項目之一,現有技術多使用大型儀器,設備昂貴且不具可移動性,難以靈活應對製程中所使用的特有氣體,「我們開發的檢測系統具備輕便、靈活,可移動並適用於不同場域,同時降低設備成本,減少傳統大型儀器的高昂費用。特別是針對半導體製程中的多種特定氣體,可隨時隨地進行整合檢測,有效提高檢測精確度,具備市場擴展潛力。

國科會這項科研創業計畫補助,鼓勵學界與產業界、研究機構進行橋接,並符合政府推動產業創新政策,補助具潛力之研發成果,朝向商業化及事業化邁進,並串接教育部、國科會、經濟部、國發會、金管會等相關資源銜接機制,支持國家產業永續發展、促進經濟活絡進步。陳志欣笑著說,成功申請該計畫十分不容易,通過的單位多為國立大學、醫學大學或醫學單位,「團隊持續努力了3年,不斷修計劃方向才通過申請,成為國科會科研創業計畫辦公室的培育團隊。」

本計畫研究團隊,目前由本校兩位校友,分別是化學系博士黃致爲負責高階技術開發;理學院應用科學博士何宗洋負責商業發展布局,未來也將持續申請政府計畫和補助,也希望募集資金儘快成立新創公司,推廣這項創新技術。

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NO.1189 | 更新時間:2024-09-23 | 點閱:818 | 下載:

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